毕业论文
您现在的位置: 镜头 >> 镜头资源 >> 正文 >> 正文

与ASML合作的镜头厂商造出地球最平镜面

来源:镜头 时间:2022/8/3
刘军连医术怎么样 http://m.39.net/disease/a_9376682.html

众所周知,全球最强的光刻机厂商是ASML,目前最先进的EUV光刻机,只有ASML能够造出来,其它的所有光刻机厂商甚至连EUV光(极紫光外线)都生产不出来,更不要说将EUV光控制起来进行光刻了。

但其实ASML的所有技术、甚至零件也并不是自己生产的,严格的来讲,ASML也只一家方案整合商,整合了众多厂商的技术,与一些关键厂商深度捆绑,最终把EUV光刻机造了出来。

今天给大家介绍的是给ASML的提供EUV光刻机镜头的厂商,它就是德国的蔡司半导体(ZeissSMT)。

ZeissSMT估计很多人是听说过的,是当前世界上最顶级的光学技术企业,它的工艺堪称一绝,精度控制让人叹为观止,在各种光学设备中,都是处于世界领先地位的,比如近视眼镜,相机,镜头等等。

直到现在,“地球上最平整”的镜面,仍然只有德国的ZeissSMT可以造出来,而这样的镜面就被用在了最先进的5nmEUV光刻机上,这样的镜面究竟有多平整?要求是起伏度要低于在地球表面大小的平面上放一根头发丝。

在EUV光刻机中,ASML用到的ZeissSMT的这种镜面也叫做布拉格反射器,它的作用是把四散发射的极紫外线收集成束、变成方向可控的光线。

这个反射器的直径只有30厘米左右,但如果把它整体放大到整个云南省那么大,最厚的介质层也只有1毫米那么厚,这就是大家认为的最牛技术,也是目前宇宙中最平滑的表面。

而为了与ZeissSMT合作,在年11月,ASML出资10亿欧元,购买了ZeissSMT公司24.9%的股份,并承诺在年之前投入5.4亿欧元,支持ZeissSMT的研发,同时表示要再投钱继续推动蔡司研发新一代EUV光刻设备将要搭载的更大数值孔径光学系统。

而目前在EUV领域,ZeissSMT和ASML是整个EUV领域技术专利申请量排名第一和第二的选手,没有对手。

所以一定程度上说,ASML与ZeissSMT其实就是一体的,双方合作形成了极高的竞争壁垒,其它厂商想要生产EUV光刻机,没有ZeissSMT根本就不行,但ZeissSMT偏偏又不会帮你,所以除ASML外,没有人能够生产出EUV光刻机。

转载请注明:http://www.0431gb208.com/sjslczl/1145.html

  • 上一篇文章:
  • 下一篇文章: 没有了